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高速3D激光共聚焦顯微鏡
NS3500三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3500是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構，如半導體晶片，FPD產品，MEMS設備，玻璃基板，材料表面等方面擁有優質的解決方案。 
Features & Benefits（性能及優勢）：
-
高分辨無損傷光學3D測量 自動傾斜補償
-
實時共焦成像 簡單的數據分析模式
-
多種光學變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
-
實時CCD明場和共聚焦成像 無樣品準備
-
自動聚焦
Software (軟件）：
Application field（應用領域）：
NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體積，例如
-半導體:IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工藝
- FPD產品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度
- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池，太陽能電池紋理，激光圖案
-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分析
Specification (規格）：
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Model |
Microscope NS-3500 |
備注 |
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Controller NS-3500E |
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|
物鏡倍率 |
10x |
20x |
50x |
100x |
150x |
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|
觀察/ 測量范圍 |
水平 (H): μm |
1400 |
700 |
280 |
140 |
93 |
|
|
垂直 (V): μm |
1050 |
525 |
210 |
105 |
70 |
||
|
工作范圍: mm |
16.5 |
3.1 |
0.54 |
0.3 |
0.2 |
||
|
數值孔徑(N.A.) |
0.30 |
0.46 |
0.80 |
0.95 |
0.95 |
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|
光學變焦 |
x1 to x6 |
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|
總放大倍率 |
178x to 26700x |
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|
觀察/測量光學系統 |
針孔共聚焦光學系統 |
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高度測量 |
測量掃描范圍 |
精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S] |
注 1 |
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|
長掃描 : 10mm [NS-3500-T] |
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|
顯示分辨率 |
0.001 μm |
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|
重復率 σ |
0.010 μm |
注 2 |
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|
寬度測量 |
顯示分辨率 |
0.001 μm |
|||||
|
重復率 3σ |
0.02 μm |
注 3 |
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|
幀記憶 |
像素 |
1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96 |
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|
單色圖像 |
12 bit |
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|
彩色圖像 |
8-bit for RGB each |
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|
高度測量 |
16 bit |
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幀速率 |
表面掃描 |
20 Hz to 160 Hz |
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|
線掃描 |
~8 kHz |
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|
自動功能 |
自動增益 |
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激光共焦測量光源 |
波長 |
405nm |
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|
輸出 |
~2mW |
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激光等級 |
Class 3b |
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|
激光接收元件 |
PMT (光電倍增管) |
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光學觀察光源 |
燈 |
10W LED |
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|
光學觀察照相機 |
成像元件 |
1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器 |
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|
記錄分辨率 |
640x480 |
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自動調整 |
增益, 快門速度, White balance |
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數據處理單元 |
PC |
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電源 |
電壓 |
100 to 240 VAC, 50/60 Hz |
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|
電流 |
500 VA max. |
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重量 |
顯微鏡 |
Approx. ~50 kg (Measuring head unit : ~12 kg) |
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|
控制器 |
~8 kg |
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隔振系統 |
電子隔振器 |
Option |
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精細和長距離掃描儀的雙重掃描模式僅適用于NS-3500-S（單鏡頭類型）。
注1:精細掃描由壓電執行器（PZT）執行。
注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（步長1μm）進行100次測量。
注 3 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品（5μm間距）進行100次測量。
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